| 3D003 |
‘Physik-basierende’ (physics-based)
Simulations“software”, besonders entwickelt für die “Entwicklung”
von lithografischen Prozessen, Ätz- oder Abscheidungsprozessen für
das Übertragen von Maskenmustern in spezifische topografische Muster
von Leiterbahnen, dielektrischen oder Halbleitermaterialien. |
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Technische
Anmerkung: |
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‚Physik-basierend‘ (physics-based)
bedeutet in Nummer 3D003, eine Abfolge von physikalischen
Kausalvorgängen auf der Grundlage physikalischer Kennwerte (z. B.
Temperatur, Druck, Diffusionskonstanten sowie Materialeigenschaften
von Halbleitern) rechnerisch zu ermitteln. |
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Anmerkung: |
Die Bibliotheken, die
Entwurfsattribute oder die zugehörigen Daten zum Entwurf von
Halbleiterbauelementen oder integrierten Schaltungen gelten als
“Technologie”. |
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