| 6B004 |
optische Ausrüstung wie
folgt: |
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a) |
Ausrüstung zur Messung des
absoluten Reflexionsgrads mit einer „Genauigkeit“ von besser/gleich
0,1 % des tatsächlichen Reflexionsgrads, |
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b) |
Ausrüstung, mit Ausnahme von
Ausrüstung zur optischen Vermessung des Oberflächenstreueffekts, mit
einem Messfenster grösser als 10 cm, besonders konstruiert für die
berührungslose Vermessung von nichtplanaren Oberflächen mit einer
“Genauigkeit” von kleiner (besser) als 2 nm bezogen auf das
Referenzprofil. |
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Anmerkung: |
Nummer 6B004 erfasst nicht
Mikroskope. |
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