6A004

6A	Systeme, Ausrüstung und Bestandteile
6A004	Optische Ausrüstung und Bestandteile wie folgt:
	a)	Optische Spiegel (Reflektoren) wie folgt:
		Technische Anmerkung:
		Die laserinduzierte Zerstörschwelle (Laser Induced Damage Threshold – LIDT) im Sinne der Nummer 6A004a wird nach ISO 21254-1:2011 gemessen.
		Anmerkung:			Für optische Spiegel, speziell konstruiert für Lithografieanlagen, siehe Nummer 3B001.
		1.	“verformbare Spiegel” mit einer aktiven optischen Öffnung (optical aperture) grösser als 10 mm und mit einer der folgenden Eigenschaften sowie besonders konstruierte Bestandteile hierfür,
			a)	mit allen folgenden Eigenschaften:
				1.	mechanische Resonanzfrequenz grösser/gleich 750 Hz und
				2.	über 200 Aktuatoren, oder
			b)	mit einer laserinduzierten Zerstörschwelle (Laser Induced Damage Threshold – LIDT) wie folgt:
				1.	über 1 kW/ cm2 bei Einsatz eines "Dauerstrichlasers (CW laser)" oder
				2.	über 2 J/cm2 bei Einsatz von „Laser“pulsen von 20 ns und mit einer Wiederholrate von 20 Hz,
		2.	monolithische Leichtspiegel mit einer mittleren “äquivalenten Dichte” kleiner als 30 kg/m2 und einem Gesamtgewicht grösser als 10 kg,
			Anmerkung:			Unternummer 6A004a2 erfasst nicht Spiegel, besonders konstruiert zur Leitung der Sonneneinstrahlung für terrestrische Heliostatanlagen.
		3.	“Verbundwerkstoff”- oder Schaumstoffstrukturen für Leichtspiegel mit einer mittleren “äquivalenten Dichte” kleiner als 30 kg/m2 und einem Gesamtgewicht grösser als 2 kg,
			Anmerkung:			Unternummer 6A004.a.3 erfasst nicht Spiegel, besonders konstruiert zur Leitung der Sonneneinstrahlung für terrestrische Heliostatanlagen.
		4.	Spiegel, besonders konstruiert für von Unternummer 6A004d2a erfasste Tische für strahllenkende Spiegel mit einer Ebenheit (flatness) kleiner (besser)/gleich λ/10 (λ entspricht 633 nm) und mit einer der folgenden Eigenschaften:
			a)	Durchmesser oder Hauptachsenlänge grösser als 100 mm oder
			b)	mit allen folgenden Eigenschaften:
				1.	Durchmesser oder Hauptachsenlänge grösser als 50 mm aber kleiner als 100 mm und
				2.	mit einer laserinduzierten Zerstörschwelle (Laser Induced Damage Threshold – LIDT) wie folgt:
					a)	über 10 kW/cm2 bei Einsatz eines „Dauerstrichlasers“ (CW laser) oder
					b)	über 20 J/cm2 bei Einsatz von „Laser“pulsen von 20 ns und mit einer Wiederholrate von 20 Hz,
	b)	optische Elemente aus Zinkselenid (ZnSe) oder Zinksulfid (ZnS) mit einer Transmissionswellenlänge im Bereich von grösser als 3 000 nm bis 25 000 nm und mit einer der folgenden Eigenschaften:
		1.	Volumen grösser als 100 cm³ oder
		2.	Durchmesser oder Hauptachsenlänge grösser als 80 mm und Dicke (Tiefe) grösser als 20 mm,
	c)	“weltraumgeeignete” Bauteile für optische Systeme wie folgt:
		1.	Bauteile, deren Gewicht auf weniger als 20 % der “äquivalenten Dichte” eines massiven Werkstücks gleicher Blendenöffnung und Dicke reduziert wurde,
		2.	unbearbeitete Substrate, bearbeitete Substrate mit Oberflächenbeschichtungen (eine oder mehrere Schichten, metallisch oder dielektrisch, elektrisch leitend, halbleitend oder nicht leitend) oder mit Schutzfilmen,
		3.	Segmente oder Baugruppen von Spiegeln, entwickelt für den Zusammenbau im Weltraum zu einem optischen System, dessen Sammelblendenöffnung der einer Einzeloptik mit einem Durchmesser grösser/ gleich 1 m entspricht,
		4.	Bauteile, hergestellt aus “Verbundwerkstoffen” mit einem linearen thermischen Ausdehnungskoeffizienten kleiner/gleich 5 × 10-6 in jeder Koordinatenrichtung,
	d)	Steuereinrichtungen für optische Elemente wie folgt:
		1.	besonders entwickelt, um die Oberflächenform (surface figure) oder -ausrichtung der von Unternummer 6A004c1 oder 6A004c3 erfassten “weltraumgeeigneten” Bauteile beizubehalten,
		2.	Steuer-, Verfolgungs-, Stabilisierungs- oder Resonatoreinstelleinrichtungen wie folgt:
			a)	Tische für strahllenkende Spiegel (beam steering mirrors), entwickelt zur Aufnahme von Spiegeln mit einem Durchmesser oder einer Hauptachsenlänge grösser als 50 mm, mit allen folgenden Eigenschaften und besonders konstruierte elektronische Steuereinrichtungen hierfür:
				1.	maximale Winkelverstellung grösser/gleich +26 mrad,
				2.	mechanische Resonanzfrequenz grösser/gleich 500 Hz und
				3.	Winkel„genauigkeit“ von 10 μrad (Mikroradiant) oder kleiner (besser),
			b)	Resonatoreinstelleinrichtungen mit einer Bandbreite grösser/gleich 100 Hz und mit einer „Genau- igkeit“ von 10 μrad oder kleiner (besser),
		3.	kardanische Aufhängungen mit allen folgenden Eigenschaften:
			a)	maximaler Schwenkbereich grösser als 5o ,
			b)	Bandbreite grösser/gleich 100 Hz,
			c)	Winkelfehler kleiner/gleich 200 μrad (Mikroradiant) und
			d)	mit einer der folgenden Eigenschaften:
				1.	Hauptachsenlänge oder Durchmesser grösser als 0,15 m und kleiner/gleich 1 m und Winkelbeschleunigungen grösser als 2 rad (Radiant)/s2 oder
				2.	Hauptachsenlänge oder Durchmesser grösser als 1 m und Winkelbeschleunigungen grösser als 0,5 rad (Radiant)/s2,
		4.	nicht belegt,
	e)	‘asphärische optische Elemente’ mit allen folgenden Eigenschaften:
		1.	grösste Abmessung der optischen Apertur grösser als 400 mm,
		2.	Oberflächenrauigkeit kleiner als 1 nm (rms) über eine Messlänge grösser/gleich 1 mm und
		3.	linearer thermischer Ausdehnungskoeffizient kleiner als 3 × 10-6/K bei 25 °C.
			Technische Anmerkungen:
			1.	Ein ‘asphärisches optisches Element’ ist jede Art von Element, das in einem optischen System verwendet wird und dessen Form der optischen Oberfläche oder Oberflächen so konstruiert wurde, dass sie von der Form einer idealen Kugelfläche abweicht.
			2.	Der Hersteller ist nicht verpflichtet, die in Unternummer 6A004e2 angegebene Oberflächenrauigkeit zu messen, es sei denn, das Erreichen oder Überschreiten dieses Parameters wurde bereits bei der Konstruktion oder Produktion des optischen Elementes vorgegeben.
			Anmerkung:			Von Unternummer 6A004e nicht erfasst werden ‘asphärische optische Elemente’ mit einer der folgenden Eigenschaften:
						a)	grösste Abmessung der optischen Apertur kleiner als 1 m und Öffnungsverhältnis grösser/ gleich 4,5:1,
						b)	grösste Abmessung der optischen Apertur grösser/gleich 1 m und Öffnungsverhältnis grösser/ gleich 7:1,
						c)	konstruiert als Fresnel-, Flyeye-, Streifen-, Prismen- oder diffraktives Element,
						d)	hergestellt aus Borsilikatglas mit einem linearen thermischen Ausdehnungskoeffizienten grösser als 2,5 × 10-6/K bei 25 °C oder
						e)	Röntgenoptiken mit innengerichteter Spiegelfläche (z. B. tube-type-mirrors).
			Anmerkung:			Für ‚asphärische optische Elemente‘, speziell konstruiert für Lithografieanlagen, siehe Nummer 3B001.